壓力傳感器(變送器)擴散硅芯體的技術(shù)特點(diǎn)
壓力傳感器(變送器)擴散硅芯體的技術(shù)特點(diǎn)
將擴散硅壓力敏感元件封裝于316L的材料中,外加壓力通過(guò)不銹鋼膜片、內部密封的硅油傳遞到敏感的芯片上,敏感元件不直接接觸被測介質(zhì),形成壓力測量的全固態(tài)結構,所以適用于各種環(huán)境,包括惡劣的腐蝕介質(zhì)環(huán)境。
壓力芯體外加氟橡膠O圈進(jìn)行壓力可靠密封,方便裝配。
產(chǎn)品特點(diǎn):原裝進(jìn)口壓力芯片、高性能、全固態(tài)、高可靠性
硅壓阻式充油芯體(擴散硅壓力傳感器)技術(shù)特點(diǎn):
1、靈敏度高
擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍,它的滿(mǎn)量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好,應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無(wú)機械動(dòng)件損耗,因而分辨率高。
2、精度高
擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體,無(wú)機械動(dòng)件連接轉換環(huán)節,所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線(xiàn)性也非常好,因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高
擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級,膜片zui大位移量在來(lái)微米數量級,且無(wú)機械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。平均無(wú)故障時(shí)間長(cháng),性能穩定,可靠性高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結構前置安裝特殊設計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
5、溫度性能好
隨著(zhù)集成工藝技術(shù)進(jìn)步,擴散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性獲得進(jìn)一步提高,原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動(dòng)修整技術(shù)所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級,工作溫度也大幅度提高。
6、抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用,在強磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
7、耐腐蝕性好
由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,也能在普通使用中適應各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時(shí)結構工藝更易于實(shí)現。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn),可替代諸多同類(lèi)型的同功能產(chǎn)品,具有zui優(yōu)良的性能價(jià)格比。